精密干涉儀主機

精密干涉儀主機：分束器及補償板的平面度優于1/10λ測微螺旋最小分度對應動鏡行程0.00025mm，動鏡行程0.625mm法布里-珀羅反射鏡90%反，1%透，直徑30mm；模塊化，便捷拆卸，可自行組裝，調節。

激光器

He-Ne激光器：長度270mm，外徑46mm，氦氖激光器，632.8nm,TEM00，功率1.0mW,發散角<5mrad，單模輸出；帶有專用電源，尺寸：200*180*70mm；支架：可卡裝50mm以內的激光器或其他管狀物，表面噴砂氧化處理，保證質量的同時外觀的美度也大大提升。

調整架

磁吸式擴束器、延伸架、薄膜夾持架，兩用觀察像屏，透明薄片，擴束鏡架，轉動延伸架保證即使兩個光學件靠近，也可使其上兩個光學件對稱偏離光軸；三維精密調整架等；角度精度±4′，分辨率0.005mm，調節機構保證等雙軸等高，橫向偏差1′，縱向偏差1′

光學元件

BK7 精密退火材料，焦距±2%，直徑-0.2mm，中心偏差3′，光圈1-5；局部誤差為0.2-0.5，面粗糙度60/40（Scratch/Dig），氟化鎂增透膜鍍膜，有效孔徑90%；反射鏡，擴束鏡4.5等；

毛玻璃屏

直徑60mm，高強度鋁合金外框，表面噴砂氧化處理

氣室

氣室測空氣折射率，長度：80 mm

光源

鎢/納雙燈(用于白光干涉)，鈉燈20W；溴鎢燈15W，6V/3V，含電箱控制驅動器

精密電動平移臺

步進電機驅動，自動調整;

高精度的滾珠絲桿，分辨率高；

高精度交叉滾柱導軌副，結構緊湊，運行平穩；

合適科研及工業客戶，可以組成二維、三維調整臺

行程 ：15mm

臺面尺寸： 40x40mm

導軌形式： V-shaped guide rail+ cross   roller

導程：1mm

分辨率：(8細分   0.0006125mm

max速度 ：4mm/s

重復定位精度： <0.001mm

直線度： 0.002mm

平行度： 0.002mm

回程誤差為： <0.0005mm

上下擺動： 25"

左右擺動： 20"

max負載： 5kg

自重： 0.4kg

電器控制

步進電機： 28BYH250B(1.8°)

線纜接口： DB9

極限傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(2個)

零位傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(位于行程中間)

傳感器輸入電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出形式： 集電極開路 NPN

驅動控制器

控制一維到三維電動位移臺；

集穩壓電源、驅動器、控制器于一體，采用32位微處理器；

漢字液晶顯示，漢字智能鍵盤；

菜單式操作，可作運行速度、加速度、歸零速度、回差、細分、步進當量等多種設置。每個軸可獨立設置參數；

提供光電開關信號，先進的細分驅動設計，可達64細分，電流可調，確保電移臺處于穩定運行狀態；

標準RS232接口，可與計算機相連，通過計算機實現電動位移臺的操作，操作界面直觀，軟件功能豐富，開放源程序，提供二次開發平臺。

壓電陶瓷

輸出正弦波調制幅度：0-250V連續可調；輸出直流偏置電壓0-25V，連續可調；輸出頻率：20-50Hz

數顯計數裝置

供電電源：DC=9V

光電探測組件：6×6感光面 

計數范圍：0-9999

相應時間：≤0.2S 

光譜響應范圍：300-1000nm

底座配套干涉儀·使用，主體部分可單獨用于測量條紋明暗變化數值

采用迭代采樣法，具有防抖動功能

工作條件

使用環境   (溫度在15℃～40℃，濕度20%-80%)

無強振動源、無強電磁場干擾。

室內保持清潔、無腐蝕性氣體；且與墻面墻體盡量保持一定的距離

CCD攝像頭+測量軟件

測量精度：0.001MM

分辨率：2592X1944P25幀

輸出接口：USB3.0輸出

相機功能：圖像拼接、景深融合、鏡像

相機像素：500萬像素

外接設備：臺式電腦或電腦筆記本

操作方式：鼠標

基本功能：拍照、錄像、測量、存儲

畫質調整：曝光、白平衡、色彩、顏色可調

功能描述：

移動：移動畫面上的測量工具，整體移動或者移動某一個端點

點：標注圖像上的某一點

直線： 繪制一條直線，測量直線的長度

折線： 繪制折線，鼠標右鍵結束繪制，測量折線的總長度

矩形： 繪制一個長方形，測量長方形的面積

不規則多邊形： 繪制不規則多邊形，鼠標右鍵結束繪制，測量多邊形的面積

圓： 圓心和半徑確定圓，測量圓的半徑、面積

兩點定圓： 直徑與圓周的兩點確定一個圓，測量圓的半徑、面積

三點定圓： 圓周上的三個點確定一個圓，測量圓的半徑、面積

圓?。喝齻€點確定一段圓弧，測量圓弧的長度

角度： 測量角度

點線距： 測量一個點到一條直線的垂直距離

刪除： 刪除一個測量工具，選擇刪除工具后，點擊畫面上測量工具的某一點端點，刪除測量工具  

全部刪除： 刪除畫面上的所有測量工具

導出：導出測量數據到cSV文件中，可用Excel打開